Seit Mitte des 19. Jahrhunderts gab es Regionalvereine für Innere Mission. Das deutsche Kaiserreich wurde dann die Blütezeit diakonischer Anstaltsgründungen wie Bethel, Volmarstein, Wittekindshof und anderen. Einen Ausbau- und Professionalisierungsschub erlebte die Innere Mission in Westfalen in den Jahren der Weimarer Republik, als Martin Niemöller, erster hauptamtlicher Vereinsgeistlicher der westfälischen Inneren Mission, von Münster aus die heutigen kreiskirchlichen diakonischen Werke ins Leben rief. Das Evangelische Hilfswerk wurde nach 1945 in den Notlagen der Trümmergesellschaft neben der traditionellen Inneren Mission zur zweiten Säule evangelisch-kirchlicher Hilfe. 1960 schlossen sich Hilfswerk und Innere Mission zum Diakonischen Werk der Evangelischen Kirche von Westfalen, Landesverband der Inneren Mission, zusammen. 2008 hat das Diakonische Werk der Evangelischen Kirche von Westfalen - Landesverband der Inneren Mission - e.V. mit dem Diakonischen Werk der Evangelischen Kirche im Rheinland e.V. und dem Diakonischen Werk der Lippischen Landeskirche den Verein "Diakonie Rheinland-Westfalen-Lippe e.V." gegründet.
Seit dem 1. Juli 2008 werden alle Aufgaben von dem neuen Verein wahrgenommen. Ausnahmen sind die Schlichtungsstelle und das Verbandswesen. (www.diakonie-rwl.de).